|
К продаже предполагается предложить пластины из слитков монокристаллического кремния марок КДБ КЭФ, КЭС и др.
Пластины изготовлены способом проволочной резки, который обеспечивает высокое качество обработки поверхности. Поверхность пластин нетравленая.
Шероховатость поверхности соответствует требованиям 1-го класса по ГОСТ Р. Клиновидность поперечного среза, не параллельность сторон типа вогнутость - выпуклость соответствуют 1-му классу по ГОСТ Р.
Характеристика пластин из монокристаллического кремния представлена в таблице 11.
Таблица 11
Характеристика пластин |
# |
Параметр |
Ед.изм |
Значение | |
1 |
Метод выращивания |
|
Чохральский | |
2 |
Легирующий элемент |
|
Бор | |
3 |
Тип электропроводности |
|
p | |
4 |
Удельное сопротивление R |
Ом?см |
0.5-3.0 | |
5 |
Диаметр |
мм |
150.0±0.5 | |
6 |
Ориентация |
|
(100)±20 | |
7 |
Время жизни ННЗ |
мкс |
> 10 | |
8 |
Плотность дислокаций |
|
< 10 | |
9 |
Концентрация кислорода |
атм/см3 |
< 1?109 | |
10 |
Концентрация углерода |
атм/см3 |
< 1?1011 | |
11 |
Длина слитка |
мм |
100-510 | |
12 |
Диагональ |
мм |
150.0±1.0 | |
13 |
Размер |
мм |
125.0?125.0±0.5 | |
14 |
Симметрия W, X, Y, Z |
мм |
20.3-21.9 | |
15 |
Центр квадратирования |
мм |
< 0.3 | |
16 |
Прямоугольность и параллельность |
мм |
< 0.5 | |
17 |
Ориентация боковой грани |
|
(010),(001) | |
18 |
Толщина |
микрон |
270±30 | |
19 |
Предел измерения толщины |
микрон |
< 30 | |
20 |
Прогиб |
микрон |
< 50 | |
21 |
Ориентация поверхности пластины |
|
(100)±3 | |
22 |
Видимый на поверхности нарушенный слой |
микрон |
< 20 | |
23 |
Видимый след среза |
микрон |
< 5 | |
24 |
Сломанные пластины |
недопустимо | |
25 |
Качество края пластины |
Допускаются не более двух сколов не менее 1.0 мм, глубиной 0.3 мм. Трещины не допускаются. |
|
